用浸過酒精或汽油的絲綢擦拭真空爐，并擦干。

真空淬火爐停止后，爐內真空度應保持在66.5LPa以下

真空爐內有灰塵或不潔時，應用酒精或汽油浸泡過的絲布擦拭干凈并晾干。

拆卸爐體上的密封結構和真空系統時，要用酒精或汽油清洗干凈，晾干，涂上真空油脂后再組裝。

真空淬火爐的外表面經常擦拭并保持清潔。

零件和備件可以在進入爐子之前進行清潔和干燥，以防止濕氣和灰塵進入爐子。

當發現傳動部件卡阻、限位或失控時，應立即排隊，不要強行操作，以免損壞部件。

機械部件應定期加油或更換以進行維護。

真空泵、閥門、測量儀表、熱工儀表、電氣元件和其他附件應按產品的技術說明書進行維修和保養。

停電時應進行維護。在帶電條件下進行維護時，必須確保人員和設備的絕對安全。

真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀50年代左右，真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、電源系統和溫度控制系統組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面采用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料受熱變質，爐殼一般采用水冷或風冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍，安裝在爐子內部。在冶煉金屬的真空爐爐膛內安裝坩堝，有的還配有自動澆注裝置和裝卸物料的機械手。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。

真空回火爐可分為單室、雙室和立式等。一般用鎳鉻帶加熱，最高溫度800℃。一般采用真空回火爐，要求回火零件表面光亮無氧化色。

真空退火爐:

真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐可根據零件材料選擇中高溫和低溫(中高溫800℃ ~ 1350℃，低溫800℃)。

真空淬火爐:

真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空空氣淬火爐。

油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用材料廣，淬透性強，成本低，淬火油可重復使用。缺點是:變形比較大，工件需要后期清理。真空淬火爐在結構上可分為兩室爐和三室爐。