真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀50年代左右，真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、電源系統和溫度控制系統組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面采用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料受熱變質，真空爐殼一般采用水冷或風冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，爐子中有不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍。在冶煉金屬的真空爐爐膛內安裝坩堝，有的還配有自動澆注裝置和裝卸物料的機械手。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。
真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐和電子束爐(又稱電子轟擊爐)。
真空爐按結構可分為立式和臥式系列，立式系列又可分為鐘罩升降式和底盤升降式。臥式分為單門結構和前后雙門結構。爐體采用水冷夾層結構。
加熱保溫室可選擇全金屬型和復合型。全金屬型由耐熱不銹鋼和鉬網組成。它由復合耐熱不銹鋼、鉬網、碳氈、莫來石纖維或硅酸鹽纖維制成。選擇取決于用戶的工藝條件和對工藝環境的要求。
加熱器有幾種類型，如鎳鉻絲(帶)、鉬絲(帶、棒)、石墨等。具體選擇取決于用戶要求的最高溫度。加熱器分布方式有四面加熱和全方位加熱兩種，保證了用戶對爐內溫度均勻的要求。
冷卻系統有羅茨鼓風機外循環結構、離心風機外循環結構、冷壁離心風機內循環結構等幾種類型，滿足不同冷卻速率的要求。
抽真空系統包括離子泵+渦輪分子泵+機械泵、渦輪分子泵+機械泵、擴散泵+羅茨泵+機械泵、羅茨泵+機械泵、低溫冷凝泵+機械泵等。，根據極限真空度指標選擇。
溫度由進口智能溫控器控制，可實現升溫、恒溫、降溫的自動控制功能；具有工藝曲線存儲功能，可存儲多條不同的工藝曲線；具有升降溫速度可調、時鐘精確的功能，可同時顯示實際溫度、設定溫度等多種參數。具有PID參數自算和斷電保護功能。
具有完善的報警和保護措施。
配有進口多點記錄儀，可記錄全過程的真空度、壓力、溫度等工藝曲線，便于工藝分析、質量監控和生產管理。
真空計可選用高可靠性的進口數字式智能真空計或國產高品質真空計，保證真空度與溫度控制的聯動，滿足工藝要求。
全過程控制由進口可編程邏輯控制器(PLC)完成，所有動作均有聯鎖保護。有兩種工作模式:手動和自動。用戶可以選擇全手動工作模式，也可以選擇工控機群控模式。