真空爐有很多種，對真空系統有不同的要求。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。以下是一些常見的真空系統。

1.高真空系統
適用于真空度為1.333× 10 ~ 6.6× 10帕的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐等。通常由三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵和離子泵，一級泵多采用旋轉式機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。

真空系統的基本參數

真空熱處理爐真空系統的主要參數是極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率和漏氣率(升壓率)。

極端真空度真空爐在空爐和冷態下所能達到的Z高真空度稱為極端真空度。真空度是評定真空爐各部件加工裝配質量、真空機組的抽氣能力和極限真空、爐體密封和漏氣、真空衛生的重要指標。通常真空爐的極限真空度應該比主泵低一個數量級左右。  

2.低真空系統

適用于真空度1333 ~ 2 Pa的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多數油封旋轉機械泵是主泵。

3.中等真空系統

適用于真空度為1.333 ~ 3× 10 Pa的真空熱處理爐。真空系統廣泛應用于真空熱處理爐，通常由兩級真空泵組組成。初級泵多為旋轉式機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。