石墨舟皿去垢前的檢查工作
2024年01月22日
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石墨舟皿
石墨舟皿去垢前的查看工作:
石墨舟在使用過程中挨近100次時需求操作人員及時查看鍍膜狀況,出現鍍膜反常,需求進行清洗確認。
硅片在石墨舟內正常鍍膜色彩為藍色,片內出現非藍色、多種色彩或片與片間色彩差異較大,都為鍍膜反常,需求工藝確認反常原因。
由工藝人員對舟的鍍膜狀況進行剖析后,確認石墨舟是否需求清洗以及卡點是否需求更換,出產將需清洗的舟交由設備人員清洗。
石墨舟確認需求清洗后,由設備、出產、工藝三方對石墨舟進行查看。
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