真空爐中電熱元件的工作條件優于其他狀態。

1.從電加熱元件到工件的不同形式的熱傳遞

真空爐的電熱元件通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相同的情況下，真空爐的溫度比非真空爐高。然而，溫差僅在低溫爐中是顯著的。

2電熱元件與爐內氣氛相互作用的條件不同。

真空爐中電熱元件的工作條件優于其他狀態，尤其是在氧化性氣氛的非真空爐中。因此，電熱元件在真空中的抗氧化性要求不高。在非真空爐電加熱器中，除了工作時爐內氣氛與電熱元件發生化學反應外，有些電熱材料，尤其是稀有金屬，在吸收大量氣體加熱時會變脆，容易損壞，但這些金屬在真空中能長時間可靠工作。

3.電熱元件材料揮發速度不同。

電熱材料在真空爐中易揮發，其使用壽命因其蒸氣壓隨電熱元件溫度升高而增加而降低。從這個角度來看，真空也給電熱元件帶來不利影響。

對于中低溫真空爐(工作溫度不高于1000℃)，電熱元件一般采用鎳鉻合金和鐵鉻鋁合金；對于高溫真空爐，特別是溫度在1200℃以上的真空爐，使用的電熱元件是鋁、鎢、鉭、石墨等純金屬。非金屬電熱材料，如碳化硅，在真空中會分解，硅化鋁在真空中超過1300℃就會軟化，所以這兩種電熱材料在真空爐中很少使用。

真空淬火爐停止后，爐內真空度應保持在66.5LPa以下

當爐內有灰塵或不潔時，應用酒精或汽油浸泡過的綢布擦拭干凈并晾干。

拆卸爐體上的密封結構和真空系統時，要用酒精或汽油清洗干凈，晾干，涂上真空油脂后再組裝。

真空淬火爐的外表面經常擦拭并保持清潔。

零件和備件可以在進入爐子之前進行清潔和干燥，以防止濕氣和灰塵進入爐子。

當發現傳動部件卡阻、限位或失控時，應立即排隊，不要強行操作，以免損壞部件。

機械部件應定期加油或更換以進行維護。

真空泵、閥門、測量儀表、熱工儀表、電氣元件和其他附件應按產品的技術說明書進行維修和保養。