真空爐中真空淬火爐的主要結構部件，影響設備安全的爐殼、爐門、齒圈等結構部件。由于真空空氣淬火爐正壓負壓重復使用的特殊性，為了保證設備的安全性，實現設備的經濟性，采用計算法和圖形校核法對爐殼和齒圈進行了理論計算，并采用有限元分析方法對結構進行了安全性分析。通過力學模型，優化設計結構中的薄弱環節，滿足結構安全的要求。

真空淬火有兩種:氣體淬火和液體淬火。氣體淬火是將工件在真空中加熱，然后在冷卻室中充入高純中性氣體(如氮氣)進行冷卻。適用于氣體淬火的是馬氏體臨界冷卻速率低的材料，例如高速鋼、高碳和高鉻鋼。液體淬火是指工件在加熱室加熱后，移至冷卻室，充入高純氮氣，立即送入淬火油箱快速冷卻。如果要求高表面質量，真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應在真空爐中進行。
真空淬火爐:真空淬火爐可分為真空油淬爐和真空空氣淬火爐。
真空回火爐:真空回火爐可分為單室、雙室、立式等。一般用鎳鉻帶加熱，最高溫度800℃。一般采用真空回火爐，要求回火零件表面光亮無氧化色。
真空退火爐:真空退火爐可分為單室、雙室和立式。真空退火爐可根據零件材料選擇中高溫和低溫(中高溫800℃ ~ 1350℃，低溫800℃)。
油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理。其主要特點是適用材料廣，淬透性強，成本低，淬火油可重復使用。缺點是:變形比較大，工件需要后期清理。油淬爐在結構上可分為兩室爐和三室爐。
真空氣淬爐適用于一些淬透性好的材料的真空熱處理，如高速鋼、不銹鋼、模具鋼等。其特點是零件變形小，熱處理后無需清洗。缺點是急冷氣不能回收，成本高。真空氣淬爐在結構上可分為臥式和立式。臥式可分為單人房、雙人房和三人間。立式適用于環形、圓柱形和長桿形零件的熱處理。高壓氣淬爐的淬火壓力一般為2bar ~ 10b ar。根據用戶的需要，可以選擇零件適合壓力的爐型。