真空熱處理是真空技術與熱處理相結合的綜合技術，是指熱處理過程的全部或部分在真空狀態下進行。真空熱處理可以實現淬火、退火、回火、滲碳、滲鉻、滲氮等幾乎所有的熱處理過程。在淬火過程中，可以實現氣體淬火、油淬火、硝酸鹽淬火和水淬火。與普通熱處理相比，它具有以下優點。

1.不氧化、不脫碳、不滲碳可以保護工件的內部和表面。(真空熱處理爐)

被氧化的金屬表面失去金屬光澤，表面粗糙度增加，精度下降。而且鋼材表面的氧化皮往往是淬火軟點和淬火裂紋的根源。氧化會降低鋼零件的強度和其他機械性能。脫碳是指加熱時鋼的表面碳含量減少的現象。

一般來說，鋼的氧化和脫碳是同時進行的。由于脫碳層被氧化，碳含量的降低會明顯降低鋼的淬火硬度、耐磨性和疲勞性能，高速鋼脫碳會降低紅硬性。

在真空熱處理中，由于金屬是在一定的真空度下加熱的，工件避免了與氧氣的接觸，工件不會被氧化或脫碳，從而可以獲得光亮的表面和較好的熱處理質量。同時，在真空狀態下，不會發生還原反應，因此不會發生滲碳。通過添加保護劑后的工件表面與真空淬火后的金相照片對比，可以清楚地看出真空熱處理的優勢。

2.提高整體機械性能，脫氣，促進金屬表面凈化。

真空對液態金屬有明顯的除氣作用，對固態金屬中的溶解氣體也有很好的去除作用。金屬中最有害的氣體是氫。當采用真空加熱時，可迅速將金屬和合金中的氫降低到最低水平，消除氫脆，從而提高材料的塑性、韌性和疲勞強度，提高工件的整體力學性能。而如果真空度低于相應氧化物的分解壓力，氧化物就會分解，形成的游離氧會立即從真空室排出，使金屬的表面質量進一步提高，甚至表面被活化，從而起到凈化作用。

3、工件變形小。

一般來說，被處理的工件是在爐內通過熱輻射加熱的，所以內外溫差小，熱應力小，這就決定了真空熱處理的零件變形小。真空中加熱和淬火同時自動完成，避免了工件在熱狀態下在空氣中的搬運(鹽浴處理和氣氛保護處理雖然在無氧環境下加熱，但仍在空氣或含氧分子的淬火介質中淬火)，減少了人為加工變形。比如Cr12MoV材質的滾絲輪，分別經過真空熱處理和鹽浴處理。真空熱處理比鹽浴處理變形小70%，產品合格率高。

4、可以降低工件中含金元素揮發性。

真空熱處理可以在受控的氣氛中加熱和真空淬火，從而降低工件中含金元素的揮發性，保證工件的熱處理質量。

5.其他人

真空熱處理爐熱效率高，可實現快速加熱和冷卻；具有良好的穩定性和重復性。工作環境好，操作安全，無污染，無公害。