隨著工業的發展，真空爐的應用越來越廣泛。真空爐在長期施工過程中，零件會發生故障和損壞，降低機械操作能力。為了保證真空爐的正常運行，延長其使用壽命，邊肖對真空爐的維護做如下分析:
首先，根據PLC程序，抽真空:關閉所有真空閥，啟動機械泵，正常運轉后(約1-2分鐘)，打開通向爐體的低真空閥門，即上盤閥，預先對爐體抽真空。
其次，根據PLC程序，抽高真空:打開下盤閥，向擴散泵抽空氣。當真空度達到15 Pa以下時，系統會自動啟動擴散泵進行預熱。通常，在擴散泵啟動其功能約45分鐘后，可關閉上部圓盤閥。同時可以打開主隔斷閥，直到真空度達到1.33×10Pa以上，再打開加熱按鈕對樣品進行加熱。
此外，真空爐的維護可以指導設備操作人員在職責范圍內，按照檢驗周期，用正確的檢驗方法和工具對設備進行日常維護。操作人員每天應根據本維修手冊認真填寫熱處理設備日常維修記錄，由班組長檢查、復核，維修人員收集、歸檔。成套設備按技術要求安裝完畢后，當無零件且接地良好時，可按下列項目進行調試和驗收。