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眾所周知,石墨坩堝使用說明書中的缺陷會減少石墨坩堝的使用時間,進而增加生產廠家自身的成本。今天大家就實際談談高純石墨熱場制造中的難題,以及人們應該如何解決。
隨著社會經濟發展的趨勢,許多單晶硅制造商都精于高純石墨熱領域的應用。原因有二:*高純石墨氈便于保溫使用,厚度超過100mm,合理保證了軸向系數溫度會小的標準。其次,由于熱量接近,石墨坩堝的厚度可以超過250mm,上下捆綁樣品的保溫桶規格會足夠大,有足夠的垂直熱管散熱。
電熱器、三瓣坩堝、高純石墨托和隔熱罩等熱場的組成都是由石墨制成的。在加工過程中,發熱元件經常損壞。那么高純石墨中元器件損壞的原因是什么,應該采取什么對策來延長高純石墨中元器件的使用壽命呢?
高純石墨中成分的破壞主要是人為和變質造成的。在人的因素層面,如果改進管理方法,加強員工的安全意識,就可以把傷害降到最低。這里是討論變質的關鍵。*祖先們掌握了高純度石墨的相關特性。
1.耐熱性,高純石墨的熔點極高,在真空泵里是3850度,底壓上升,上升溫度是2200度。與普通原料不同,當溫度升高時,高純石墨不僅不軟化,其抗壓強度反而增加。在2500度時,高純度石墨的抗壓強度加倍。
2.獨特的抗熱震性。高純石墨有各種熱變形,所以宏觀熱膨脹系數不大。在溫度劇烈變化的情況下,高純石墨的體積變化不大。加上其優異的傳熱性能,高純石墨具有優異的抗熱震性。
最重要的是,高純石墨應能在高溫下長時間穩定工作。
總的來說,花瓣坩堝相對于其他高純石墨部件,如保溫罩、電熱器等,都是由相同的原料、相同的廠家、相同的辦公環境制成的。為什么使用壽命 遠遠短于保溫罩和電暖器?三瓣坩堝開裂的關鍵原因來自應時坩堝。
1.由于熔融硅的相對密度高于固態硅,在整個制冷過程中,底鍋材料會使應時坩堝開裂,而應時坩堝迎合了三瓣坩堝。當應時坩堝開裂產生的地應力超過三瓣坩堝所承受的地應力時,三瓣坩堝就會開裂,這也是為什么三瓣坩堝在火鍋底料剩余過多的情況下會開裂的原因。
2.如果加熱時間過長,方解石坩堝質量不合格,原料ph值不超過規定值,就會造成漏硅、滲硅。熔融硅滲透到三瓣坩堝之間的縫隙中,中間冷卻后,會損壞三瓣坩堝,另一種是使三瓣坩堝相互粘連。爐子清理的時候,分開了就壞了。
3.在整個加熱過程中,只有三瓣坩堝的熱源來自兩個層面,一個是電加熱器的輻射源,另一個是來自應時坩堝的傳輸,導致三瓣坩堝遇到不均勻的熱量,可能會導致三瓣坩堝在加熱過程中在某些方向膨脹,在另一些方向塌陷,從而導致其破裂。